廠房拆遷是依法進行的行為，相關(guān)處罰主要根據(jù)拆遷過程中的違法行為進行決定。如果在拆遷過程中存在以下違法行為，可以采取相應(yīng)處罰措施：

1. 未經(jīng)法定程序?qū)嵤┎疬w：如果拆遷單位未依法獲得相關(guān)部門的批準和執(zhí)行拆遷手續(xù)，可以處以罰款，并承擔(dān)法律責(zé)任。

2. 違規(guī)處理拆遷補償款：如果拆遷單位私自調(diào)整、挪用、截留或不按規(guī)定撥付拆遷補償款項，可以處以罰款，并且必要時可以承擔(dān)刑事責(zé)任。

3. 違法暴力拆遷：如果在拆遷過程中使用暴力手段，傷害拆遷人員或者破壞財物，可以依法進行刑事追究，從刑事角度處罰。

4. 違規(guī)強拆：如果拆遷單位在拆遷過程中超出法定程序，采取強制手段拆除廠房，并造成不可修復(fù)損失，可以處以罰款，并承擔(dān)民事賠償責(zé)任。

總之，在廠房拆遷過程中，如果拆遷單位存在違法行為，相關(guān)部門將會依法進行查處并進行相應(yīng)的處罰。