拆遷違章廠房的處理方式可以分為以下幾種途徑：

1. 依法拆除：政府可以依法進行強制拆除，上門拆除違章建筑，并對違法建筑的所有人進行相應的處罰。這種方式是對于違法建筑最直接的處理方式，確保城市規(guī)劃的合法性和整體形象的統(tǒng)一性。

2. 行政處罰：政府可以對違法建筑的所有人進行罰款，根據(jù)違法情況的嚴重程度，罰款金額也不同。此外，政府還可以采取吊銷執(zhí)照、停業(yè)整頓等行政處罰措施，限制其違規(guī)操作和經(jīng)營。

3. 強制拆除后建立賠償機制：政府可以在強制拆除違章建筑之后，建立相應的賠償機制，對受損失的所有人進行補償。這種方式既保證了城市規(guī)劃的合法性，又能夠妥善解決違章建筑的拆除過程中可能產(chǎn)生的沖突。

4. 合法化處理：政府可以與違章建筑的所有人進行協(xié)商，提供合法化條件，要求其按照規(guī)定進行改造和整修，符合城市規(guī)劃的要求。如果違章建筑改造成本過高，也可以提供相應的補貼和幫助，解決雙方的利益沖突。

無論采取哪種方式處理拆遷違章廠房，都需要政府、相關部門和違法建筑的所有人之間進行充分的溝通和協(xié)商，妥善解決雙方的利益沖突，確保處理過程的合法性和公平性。同時，也需要加強城市規(guī)劃和建設管理，加強執(zhí)法力度，避免違章建筑的出現(xiàn)，減少后續(xù)處理的難度和工作量。