廠房內(nèi)部地面拆遷需要進行補償?shù)脑蛴泻芏?，例如重建廠房、改造廠房、擴建廠房等。補償?shù)姆绞接泻芏喾N，主要包括金錢補償和其他形式的補償。

一種常見的補償方式是金錢補償，即根據(jù)地面面積、使用年限、地理位置、市場價值等因素進行評估，按照一定比例進行補償。補償金額通常要考慮到凈土地價值，即地面上扣除建筑物、附屬設施等其他物品后的價值。補償金額應該經(jīng)過雙方協(xié)商或者通過評估機構(gòu)進行評估確定。

除了金錢補償之外，還可能采取其他形式的補償，例如提供一定面積的新土地或者其他等價物資，為原地創(chuàng)造新的價值。這需要考慮到地方政策規(guī)定，包括地面用途規(guī)劃、環(huán)境要求等因素。

另外，為了保障被拆遷方的合法權(quán)益，還應該制定相應的補償協(xié)議，明確補償?shù)脑敿毞桨?、條件和報酬方式等。同時，被拆遷方還可以依法申請仲裁或者提起訴訟，以維護自己的權(quán)益。

總之，廠房內(nèi)部地面拆遷需要進行合理的補償。補償方式可以是金錢補償，也可以是提供其他形式的補償，但必須依法進行協(xié)商、評估和決策，并明確雙方的權(quán)益和義務。這樣可以確保拆遷方在拆遷過程中得到合理的補償，同時也為拆遷行為的合法性提供了保障。